高純氧氣分析儀的核心原件是一個電化學(xué)氧氣傳感器。常見的電化學(xué)氧氣傳感器由一個傳感電極（或工作電極）和一個對電極組成，兩個電極間有一層薄薄的電解液。要檢測的氣體先通過一個小的毛細(xì)口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，最終到達電極表面。傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證會有適量的氣體進入與感應(yīng)電極反應(yīng)產(chǎn)生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應(yīng)電極發(fā)生氧化/還原反應(yīng)，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產(chǎn)生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應(yīng)出氣體中的氧濃度。
高純氧氣分析儀在測量蒸汽時先從差壓信號得到流量值，再從蒸汽溫度和壓力值表得到密度，計算蒸汽流量質(zhì)量。關(guān)于氧氣分析儀安裝時雷諾數(shù)的修正，分析儀的流動系數(shù)與雷諾數(shù)呈正相關(guān)。當(dāng)質(zhì)量流體發(fā)生變化時，雷諾數(shù)發(fā)生反比變化，導(dǎo)致流動系數(shù)的變化。
氧氣分析儀的種類較多，檢測原理各異，針對性強，因此應(yīng)根據(jù)不同使用場合、不同工藝狀況選擇合適的儀表。從而將各種燃燒設(shè)備的燃燒狀態(tài)控制在佳狀態(tài)，能有效地節(jié)約各種燃料（如原煤、石油、天然氣、煤氣等），控制設(shè)備平穩(wěn)、經(jīng)濟運行，延長設(shè)備使用壽命；同時還可降低排煙“黑度”，減少排煙粉塵和SOX等有害氣體。氧氣分析儀可監(jiān)測氣體溫度和壓力等參數(shù)，且美觀大方，操作使用非常方便，得益于高性能進口傳感器，整機保持了一貫高精度、高穩(wěn)定性、長壽命等優(yōu)點。
